半导体基础实验室主要承担了电子科学与技术和微电子学专业独立设课实验《半导体专业基础实验》的教学任务，拥有实验设备18台套，可以完成半导体晶面的光学定向、晶体缺陷显示、半导体的电阻率、半导体少子寿命、“汞探针”测量外延层杂质浓度分布、硅单晶中氧碳含量测量、MOS结构电容-电压特性测量等实验项目，所开实验项目包括了《固体物理》和《半导体物理》二门专业基础理论课的实验教学内容。通过本实验室的实验教学可使学生掌握半导体材料的微观结构、基本物理性质、基本参数的测试原理和测试方法以及半导体器件制造过程中与材料有关的特性和参数的测试原理、测试方法，了解激光晶轴定向仪、金相显微镜、四探针电阻率测试仪、硅单晶寿命测试仪、霍尔效应测试仪、高频C～V特性测试仪等仪器设备的主要结构、原理与操作方法，学习样品的制备技术及有关的半导体工艺技术、化学腐蚀技术等。重点培养学生的实验能力、科研能力以及在实践中综合运用所学理论知识的能力，使学生在实验科学知识和开拓基本实验技能方面得到系统的培养和训练。

固体物理与半导体物理实验室

MOS结构C-V测试系统

配备自动测试台的双电四探针测试仪