电子工程实践教学基地实验预约守则

晶体楼电子工程实践教学基地属于电子工程实验中心，现有全套的晶闸管及太阳电池生产设备。实验室位处我校金花校区西北角晶体楼一层及二层。

实验室主要由大厅，清洗间，光刻间，丝网印刷间，激光划片间，镀膜间，抛光研磨间，切片间，太阳能电池测试间，以及空调、风机、纯水、仓库等附带厂务设施构成。

大厅现有两管程序扩散炉两台，用于扩散及氧化工艺，PECVD一台。真空烧结炉一台，箱式真空镀膜机一台，PVT碳化硅生长炉一台，深硅刻蚀机一台，烘箱两台。

清洗间现有六槽清洗腐蚀设备，超声清洗机，试剂柜，耐酸碱实验桌，可提供无水乙醇，丙酮，甲苯，硝酸，氢氟酸，硫酸等常用半导体试剂，纯水产量1T/h，主要用于半导体清洗及化学腐蚀。

光刻间现有6寸单面光刻机一台，配套有匀胶机、热板、烘箱等光刻设备。双人单面净化工作台两台。

丝网印刷间现有太阳能电池用丝网印刷机四台，等离子刻蚀机一台，太阳能电池烘干炉、烧结炉各一台。

激光划片间现有激光划片机一台，循环冷却水冷装置一套，OLED高真空镀膜设备一套。

镀膜间现有高真空电阻蒸发镀膜设备一台。

抛光研磨及切割间现有抛光研磨及切片设备。

本实验室免费向电子系学生开放，为了更好地利用实验室资源以及规范实验操作，杜绝实验事故，本实验室实行预约制。请各位同学下载实验室预约申请表，预实验前一天填写完毕发至邮箱zhangchao4403@xaut.edu.cn，实验时携带申请表交至晶-101。实验室预约申请表同样适用于教6-801半导体测试设备。

实验时请如实填写实验室开放登记表以及大型仪器使用登记表，谁使用谁负责，确保人身及设备安全，发现问题及时联系实验室老师。

请爱护实验设备，节约实验药品，遵守实验室操作规程；实验后打扫实验室卫生，检查实验室水电气关闭后方可离开。

联系人：张 超

联系电话：18792452771

2016.12.05